整合高效率 洗淨設備，如 CO₂ Snow Cleaner 與 Micro Plasma，可去除微粒與有機污染
CO2 Snow Cleaning有機化合物洗浄
例：Wafer Glass Recipe
- Nozzle Type : pen type 0.3mm
- Nozzle Angle : 45 °
- Nozzle Distance : 10cm
- Moving Speed : 100mm/s
- Cycle Time : 15S/PCS
半導體
Organic Dry Cleaner
Organic Dry Cleaner
CO2 Snow Cleaning有機化合物洗浄
詳細介紹
整合高效率 洗淨設備，如 CO₂ Snow Cleaner 與 Micro Plasma，可去除微粒與有機污染
CO2 Snow Cleaning有機化合物洗浄
例：Wafer Glass Recipe